Подготовка подложек

•  Две установки для обработки подложек в радиочастотной (RF) плазме (2.5 л, 40 kHz, 150 W);
• Установка для обработки подложек озоном (UV-ozon)
• Конфокальный лазерный гравер EASY SISMA 200F

Нанесение пленок из раствора

• Cпин-коутеры SCS P6708 и Laurell Technologies WS 400 для нанесения тонких пленок из растворов на воздухе;
• Спин-коутер, установленный внутри перчаточного бокса MBraun с инертной атмосферой;
• Установка для нанесения покрытий  DrBlade (Zehntner ZAA2300);Лабораторная установка щелевой экструзии (slot die coating TFC300H, Automatic Research GmbH) для нанесения тонких пленок из растворов при комнатной и повышенных температурах.

Вакуумные методы формирования пленок

• Две модернизированные установки на базе ВУП-5 для резистивного напыления органических и неорганических покрытий;
• Установка магнетронного распыления RF/DC с магнетроном 2 дюйма производства Iontec Ltd. (Москва), оснащенная 2-канальной системой подачи газа, охлаждаемым держателем образцов с возможностью плазменной очистки подложек.
• Пятиканальная установка атомно-слоевого осаждения ALD (КвинтТех, РФ) для нанесения высококачественных оксидных пленок;
• Высоковакуумная (10^-6 mbar) установка CVD для выращивания перовскитных пленок;

Изготовление устройств

• Трехперчаточный бокс MBraun Unilab оснащенный высоковакуумной PVD камерой для нанесения низколетучих материалов (2 источника) методом резистивного термического испарения;
• Трехперчаточный бокс MBraun Unilab, оснащенный высоковакуумной испарительной камерой для нанесения летучих (4 источника) и нелетучих (2 источника) материалов методом резистивного термического испарения;

Характеризация солнечных батарей и фотодетекторов

• Трехперчаточный бокс MBraun Unilab с интегрированным солнечным симулятором и установкой для измерения вольтамперных характеристик и EQE спектров солнечных батарей;
• Многоканальная установка для измерения вольтамперных характеристик солнечных батарей на основе 4 источников-измерителей Advantest 6240A, работающих в параллельном режиме;
• Установка для измерения спектров IPCE, EQE солнечных элементов на основе монохроматора LOMO и электронных компонентов, предоставленная Stanford Research Systems.
• Установка для измерения вольтамперных характеристик солнечных элементов при различном уровне освещенности: от 1 до 600 мВт/см;
• Источники-измерители Keithley 236, 2400, 2405
• Установка для оценки подвижностей носителей зарядов в органических и гибридных полупроводниках методом SCLC в импульсном режиме;
• Установка с наносекундным лазером для исследования переходных характеристик фотодетекторов (время отклика и затухания сигнала фотоотклика).
• Установка с синим (450 нм), зеленым (532 нм) и красным (633 нм) лазерами и мощным источником белого света для исследования фотоотклика фоторезистиров, фототранзисторов и фотовольтаических элементов (временное разрешение 0.1 мс);

Характеризация полевых транзисторов, устройств памяти и хемосенсоров

• Самодельная зондовая станция для измерения вольтамперных характеристик транзисторов;
• Самодельная зондовая станция для измерения вольтамперных характеристик транзисторов;
• Установка для оптикоэлектрического программирования элементов памяти, синхронизированная с источником-измерителем вольтамперных характеристик;
• Трехканальная газодинамическая установка ГДУ16 для генерации смесей газов с заданным профилем изменения концентраций аналитов;
• Пятиканальная газодинамическая установка ГДУ16-1 для генерации смесей газов с заданным профилем изменения концентраций аналитов;
• Двухканальные источники-измерители Advantest R6245 (R6246) для детектирования отклика хемотранзисторов на присутствие аналита (нижний предел по току 10 фА, 8 шт)
• Одноканальные источники измерители Keithley 236 и 237 для детектирования отклика хеморезисторов на присутствие аналита (нижний предел по току 10 фА, 4 шт)
• Термостатируемые газовые ячейки для измерения сенсорных характеристик устройств (матрицы до 10 элементов одновременно, электронный нос).